Boron11 trichloride semiconductor dopant semiconductor dry etching
Panimula ng produkto
Sa normal na temperatura at presyon, ang boron trichloride (BCL 3 ) ay walang kulay na usok ng usok, na nasusunog, nakamamatay, acidic na amoy. Ang Boron trichloride ay nabubulok sa hydrochloric acid at boric acid at naglalabas ng maraming init na nakatagpo ng tubig, bumubuo ito ng usok sa basa na hangin dahil sa hydrolysis, at ang BCL 3 ay nabubulok sa hydrochloric acid at boric acid ester sa alkohol. Ang Boron trichloride ay may isang malakas na kakayahan sa reaksyon at maaaring makabuo ng iba't ibang mga compound ng koordinasyon. Ang Boron trichloride ay maaaring gumanti sa baso at ceramic kapag pinainit, at gumanti rin ito sa maraming mga organikong compound upang makabuo ng iba't ibang mga compound ng organoboron. Ang mataas na kadalisayan boron11 trichloride ay pangunahing ginagamit para sa pagsasabog ng doping sa proseso ng pagmamanupaktura ng (silikon) na mga aparato ng semiconductor. Ang mga impurities ng boron ay nabuo sa pamamagitan ng agnas ng BCL 3 at nagkakalat patungo sa silikon upang mabuo ang p-type na semiconductor sa mataas na temperatura. Maaari ring magamit ang BCL 3 para sa dry etching ng Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI at iba pang mga materyales.
Pagtukoy ng kalidad
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Application
Ang Boron trichloride ay maaaring magamit upang gumawa ng mataas na dalisay na boron, katalista para sa organikong synthesis, fluxing agent para sa silicate decomposition, at ginamit din ito bilang additive ng deoxidizer, nitrides at carbides sa haluang metal. Ang mataas na dalisay na boron11 trichloride ay pangunahing ginagamit sa pagsasabog doping, pagtatanim ng ion, dry etching at iba pang mga proseso sa mga aparato ng semiconductor at pinagsama -samang paggawa ng circuit.
Packaging at imbakan
Ang Boron11 trichloride ay napuno sa silindro. Ang silindro na puno ng boron11 trichloride ay umaayon sa may -katuturang mga probisyon ng GB14193. Ang mga pagtutukoy ng packaging ay may kasamang 10L at 47L.Ang produkto ay naka -imbak sa isang malilim, tuyo at maaliwalas na kamalig sa ibaba 60 ℃ . Ipinagbabawal na ilantad sa araw at maiiwasan ang mga mapagkukunan ng init. Ang package ay dapat na selyadong at dapat itong hiwalay na nakaimbak sa alkali at iba pang mga mapanganib na artikulo.
Contact Now
